大国智能制造 - 第七百二十八章 原来是波的问题 【求订阅】

    这时，梁宋松也半蹲了下来，目光一直盯着主体系统的接驳机构。他想找出故障的原因，证明自己的猜想没有错。
    “我们这台光刻机的接驳机构是测绘以后的仿制，没有原始图纸，精度没保障。所以说，就是个接驳机构出了问题。”仔细观察了半天，梁宋松果断的下结论，认为还是光刻机主体系统出了故障。
    他这套理论倒是有点道理，可跟两套系统组合以后的质量缺陷有啥联系？
    故此，万宁古根本不同意梁宋松的意见，“激光光路系统和光刻机主体系统是刚性连接，跟这套接驳机构有啥关系？”
    刚性连接只要保证连接机构的稳定就行，不会对两套机构的性能稳定性造成影响。再说了，这套接驳机构使用液压锁定方式来确保稳定性，根本不会影响光刻机两套系统的稳定性。
    万宁古对光刻机的结构非常熟悉，一下子就排除了梁宋松的论断。按照他的设想，众人不要在这套接驳机构的稳定性上做深层挖掘。
    这时，眉头紧锁的许振鸣稍稍一抬眉，瞥了一眼身旁的万宁古。“老万，光刻机的震动量、电磁杂波干扰等方面，会不会影响到光刻机的稳定性？”
    “嗯…肯定会有影响的。要不然，光刻机的工作环境要求非常高，基础要有防震动设施，现场电磁杂波要做屏蔽措施。”
    万宁古皱着眉头说道，心里还在考虑着其他的影响因素。在他看来，这次检测要麻烦许多了，要把光刻机主体系统的组件一一拆开，分开检查测试才行。
    而这时，站在不远处的郝宁教授忽然一拍大腿，“我知道是什么原因了，应该是震动波的共振造成的，或者是电磁杂波频率跟激光波的频率有互相干扰。”
    郝宁教授是光学专家，在光波学、电磁波学等专业领域是权威人士。他经过许振鸣一提醒，瞬间来了灵感，说出一个让许振鸣感到高深莫测的观点。
    光波和电磁波的粒子、波两种形态，许振鸣在自学高中物理的时候有所涉及，可已经早就忘得差不多。而郝宁教授的观点又涉及到量子物理的理论，他哪能搞得懂？
    不但许振鸣搞不懂，现场的万宁古和梁宋松两位专家级人物也只能说略懂皮毛。专家都在自己的领域里称雄，出了领域跟平常人的差距不是那么大的。
    故此，万宁古激动的站起身来，盯着郝宁教授大声问道：“郝教授，你说说看，这台光刻机的缺陷到底是怎么回事？”
    “有这种可能么？”梁宋松此时也半信半疑的站起身来，狐疑目光一直落在郝宁教授的脸上。
    郝宁教授此次此刻非常激动，连连点头，“一定是这个问题。还是许董的眼光比较准，一下就能找到这台光刻机的缺陷所在。”一边说话，他一边拿出笔记本，把今天的灵感记录下来。
    做好这些，他朝众人大笑着说：“我们大家都知道共振的原理。这台光刻机主体系统的震动波若是跟激光光路系统的震动波频率一致，就会产生共振现象。倘若这台光刻机主体系统的电磁杂波频率跟激光的频率一致……”
    “激光也会产生共振现象！”这时，在场的所有人都异口同声的说道。
    在场的众人都技术员，普通物理知识还是知道一些的。他们这些人，也包括许振鸣都瞬间听懂了郝宁教授的理论。
    “既然这样，咱们还愣着干啥，开始干活吧！”许振鸣现在的心情很不错，笑嘻嘻的朝大伙儿扫了一眼。
    “哈哈…原来是波的问题！”
    “就是不知道是哪套系统的波有问题？还是电磁杂波有问题？”
    技术员们开着玩笑，开始拆卸接在主体系统上的传感器。
    他们准备把这套传感器接到激光光路系统上面，测试一下这套激光光路系统的电磁杂波频率和震动频率等。至于那激光头里射出的激光光束频率，工作站的电脑里早就有了数据。
    ………
    ………
    就这样，一个小时以后，两套系统的测试数据已经被打印出来。
    “许董，原来是震动波的问题。咱们的光刻机主体系统和激光光路系统的震动波频率非常接近，肯会产生共振现象。”万宁古扬了扬手中的a4打印纸，脸上露出开心笑。
    这一番折腾下来，他都操碎了心。现在能准确定位这台光刻机故障缺陷的原因，他怎么能不喜出望外？
    许振鸣也是如此。通过这一番的科普，他对第三代krf光刻机的原理也算比较精通了。虽然不能像万宁古、梁宋宋、郝宁这些专家那样精通，要是去忽悠外行人，保准没问题。
    更深层的原因是，许振鸣通过这一番实验，对这台国产第三代光刻机的性能有把握。
    “我们集团公司总算跨出了那么一小步。国产第一台krf光刻机将会在不久的未来诞生，而且就诞生在我的手中。嘿嘿……”许振鸣笑的也很开心。
    他笑嘻嘻的问心情激动的万宁古，“老万，咱们既然找到了原因，什么时间能解决这个缺陷？”
    “应该很快的许董！老梁你说是不是？”万宁古笑嘻嘻的跟郁郁寡欢的梁宋松开玩笑。
    梁宋松此时的心情很复杂，庆幸自己没草率出头，说出自己的论断设想，“这要是在会议上提出这台光刻机的故障缺陷原因，我现在应该出丑了。”
    他冷冷的想着，复杂的目光看向许振鸣，“他怎么能观察到是接驳机构出了问题？”
    梁宋松的内心戏非常多，此时其实已经想好了一个解决这种故障的好办法。但这种时刻，他不想说出来，免得再次受到挫折。
    这时，郝宁教授来到许振鸣的身旁。“许董，我建议咱们召开一个技术讨论会议，在会议上通过讨论解决这个问题。”他非常谨慎，没在自己不擅长的领域乱下结论。
    “对对对！郝教授说得非常有道理。要完美解决这个技术问题，咱们应该集思广益才行。许董，我建议应该扩大参加技术讨论会议人员的范围，老胡、老章他们这些人都要来参加。”
    万宁古喜笑颜开的跟许振鸣提建议。他这个提议倒是有建设性，可以一揽子解决两台光刻机的技术缺陷问题。
    但许振鸣此时却不这么想，而是伸手看了看手腕上的手表，“现在是晚饭时间，咱们先吃饭，然后再做决定。呵呵……”